3100 A - Modulo per pulizia canister

Il centro di tutti i sistemi di pulizia Entech è il modulo 3100A.

Durante la pulizia l’evacuazione dei canister è effettuata in due passaggi: il primo utilizza una pompa a diaframma per attuare un'evacuazione di tipo “grossolano”; in un secondo momento interviene una pompa turbo-molecolare per realizzare un vuoto fino al range dei millitorr.

Entrambe le pompe sono prive d’olio, eliminando la necessità di introdurre trappole d’isolamento.

Dopo l’evacuazione, i canister vengono iniettati con aria deumidificata o azoto per diluire qualsiasi impurità rimasta.

La pulizia è quindi effettuata riempiendo e svuotando ciclicamente i canister con “aria zero” o azoto extra puro seguiti da un'evacuazione finale fino a 50mtor. Il sistema controlla automaticamente le eventuali perdite .